近日,由中国科学院半导体研究所主办的“中国(苏州)半导体光电及激光智能制造技术会议”在苏州工业园圆满落幕!
本次大会以“以光为引,创芯未来”为主题,邀请了苏州市委常委、副市长顾海东,苏州工业园区党工委委员、管委会副主任倪乾以及中国工程院院士陈良惠,中国工程院院士范滇元,中国工程院院士罗毅,中国科学院院士祝世宁、美国国家工程院院士常瑞华、中国科学院院士祝宁华等六位院士出席会议,此次大会汇集国内知名行业专家、学者、企业代表,深入研讨国内外先进光电技术与激光领域的发展及核心关键技术问题,探讨该领域的最新发展趋势。
图:半导体光电及激光智能制造技术会议
大会进行到 “高功率激光技术”研讨环节,我院携“高功率飞秒激光及应用”在会议中亮相。报告中,我院代表详细介绍了我院核心产品超快种子源系列的技术特点、研发背景以及在半导体光电及激光智能制造领域等多方面应用。与会者们对这一创新性产品的潜力和应用前景表达了浓厚的兴趣,并提出了一系列深入的问题,与我院代表进行积极互动。
图:华东师范大学重庆研究院代表作报告
我院核心产品——超快种子源系列,分为三类。第一类为1030nm高稳定fs种子源——该产品具备重复频率覆10MHz-100MHz;光谱宽度>10nm;输出功率>5mW等特点,实现了小型一体化,具有极高的可靠性和稳定性。主要应用于光纤放大器种子源、飞行时间测距以及固体放大器种子源等领域。
1030nm高稳定性fs种子源
第二类为1064nm皮秒光纤种子源——该产品基于完美的泵浦保护、全自动锁模脉冲等技术,具备高平均功率输出>100mW;重频覆盖范围宽(10-70MHz);超寿命长>5年等特点,插电即可使用,主要应用于多种工业和科研等领域。
1064nm皮秒光纤种子源
第三类为1030nm宽光谱种子源——该产品为高斯型宽光谱输出,具备中心波长1030nm;光谱带宽>20nm;输出功率>45mW;脉冲宽度11ps;种子重频27MHz等特点,同样可满足多种工业和科研应用场景需要。
1030nm宽光谱种子源
除核心产品外,我院也向与会者们介绍了其他一系列引人注目的先进激光技术产品及其应用。在介绍这些先进产品的同时,我院着重强调了它们在实际应用中的优越性和创新性。与会者们对这些激光技术产品也表现出浓厚的兴趣,纷纷就其技术参数、性能特点以及潜在应用领域提出了热切的问题。
mJ级高能量fs激光器
mJ级1030nm高能量飞秒激光器——该产品具有超强激光能量、高集成度设计、激光频率可调等特点,可应用于柔性材料切割、激光生物效应以及双光子聚合加工等包含工业、生物医疗、科学研究在内的多个领域。
50fs极窄脉宽1030nm光纤激光器
50fs极窄脉宽1030nm光纤激光器——该产品具备小于50fs脉冲宽度、高重频脉冲输出和可选倍频模块等特点,可应用在固体放大器种子源、双光子生物成像以及双光子微纳结构加工等领域。
1030nm高功率fs激光器
1030nm高功率fs激光器——该产品具有超快激光脉冲、全自动锁模技术以及低噪声超快激光放大技术等特点,可应用于微纳结构加工、显示屏坏点修复、光遗传刺激双光子、3D激光打印等包含工业、生物医疗、科学研究在内的多个领域。
20μJ级红外皮秒激光器
20μJ级红外皮秒激光器——该产品该产品具有中心波长1030 nm;脉冲宽度>500 fs;重复频率<0.3%;单脉冲能量>20 μJ。主要针对工业晶圆划片应用,可应用于高端超快激光隐切与超短脉冲激光划片集成装备OLED切割、SiC芯片晶圆精细切割以及半导体集成芯片形貌测量与内部结构层析等工业领域。
紫外皮秒激光器
紫外皮秒激光器——该产品具有中心波长343 nm;光谱宽度>0.6nm;脉冲宽度15±5 ps;重复频率50 kHz-1MHz;单脉冲能量>50 μJ等特点,主要应用于OLED柔性显示面板切割。
GHz 飞秒激光器
GHz 飞秒激光器--该产品中心波长1030nm;方波持续时间可调(脉冲间隔时间0.9ns);脉冲宽度<120fs;方波能量可调(单脉冲能量>1.5μJ);输出功率20W/50W/75W/100W;功率稳定性<0.5%@100h,主要应用于超快激光隐切、微纳精密加工、半导体加工、晶圆划片、Low-K开槽、光子芯片加工等方向。
通过此次大会,我院旨在向业界专业人士展示我院在激光技术领域的研发成果,以及这些技术在半导体光电及激光智能制造领域的创新应用。通过这一平台,我们期望能够与行业同仁共同探讨激光技术的发展方向,促进科技创新和产业升级。